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揭秘第三代半導(dǎo)體材料核心,國(guó)產(chǎn)替代潛力巨大

2021年12月22日

半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的基石是芯片,制作芯片的核心材料按照歷史進(jìn)程分為:第一代半導(dǎo)體材料(大部分為目前廣泛使用的高純度硅),第二代化合物半導(dǎo)體材料(砷化鎵、磷化銦),第三代化合物半導(dǎo)體材料以碳化硅和氮化鎵為代表。



碳化硅是第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展的重要基礎(chǔ)材料,碳化硅功率器件以其優(yōu)異的耐高壓、耐高溫、低損耗等性能,能夠有效滿足電力電子系統(tǒng)的高效率、小型化和輕量化要求。

在新能源汽車、光伏發(fā)電、軌道交通、智能電網(wǎng)等領(lǐng)域具有明顯優(yōu)勢(shì)。
因其優(yōu)越的物理性能:高禁帶寬度(對(duì)應(yīng)高擊穿電場(chǎng)和高功率密度)、高電導(dǎo)率、高熱導(dǎo)率,有望成為未來(lái)最被廣泛使用的制作半導(dǎo)體芯片的基礎(chǔ)材料。


圖表來(lái)源:IHS Market


近年來(lái)新能源汽車驅(qū)動(dòng)碳化硅行業(yè)高速成長(zhǎng),較傳統(tǒng)的燃油汽車相比,新能源汽車半導(dǎo)體元器件功率更大,性能要求更高,用量幾倍于傳統(tǒng)燃油汽車。根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)方案,每輛新能源汽車使用的功率器件價(jià)值約700美元到1000美元。


隨著新能源汽車的發(fā)展,對(duì)功率器件需求量日益增加,成為功率半導(dǎo)體器件新的增長(zhǎng)點(diǎn)。使用碳化硅襯底材料,為新能源汽車節(jié)省大量成本。



半導(dǎo)體芯片分為集成電路和分立器件,但不論是集成電路還是分立器件,其基本結(jié)構(gòu)都可劃分為“襯底-外延-器件”結(jié)構(gòu)。

碳化硅產(chǎn)業(yè)鏈也可分為三個(gè)環(huán)節(jié):分別是上游襯底,中游外延片和下游器件制造。


圖表來(lái)源:中信證券


碳化硅在半導(dǎo)體中存在的主要形式是作為襯底材料。碳化硅晶片作為半導(dǎo)體襯底材料,長(zhǎng)晶難度大,技術(shù)壁壘高,毛利率可達(dá)50%左右。
已已經(jīng)過(guò)外延生長(zhǎng)、器件制造等環(huán)節(jié),可制成碳化硅基功率器件和微波射頻器件。晶片尺寸越大,對(duì)應(yīng)晶體的生長(zhǎng)與加工技術(shù)難度越大。

碳化硅晶片產(chǎn)業(yè)鏈:


圖表來(lái)源:天科合達(dá)招股說(shuō)明書


襯底常用Lely法制造,國(guó)際主流采用6英寸晶圓,正向8英寸晶圓過(guò)渡;國(guó)內(nèi)襯底以4英寸為主,主要用于10A以下小電流產(chǎn)品。


全球碳化硅市場(chǎng)呈現(xiàn)寡頭壟斷局面,歐美日企業(yè)領(lǐng)先美國(guó)全球獨(dú)大,全球SiC產(chǎn)量的70%~80%來(lái)自美國(guó)公司。


海外碳化硅單晶襯底企業(yè)主要有Cree、DowCorning、SiCrystal、II-VI、新日鐵住金、Norstel等。


其中CREE、II-VI等國(guó)際龍頭企業(yè)已開(kāi)始投資建設(shè)8英寸碳化硅晶片生產(chǎn)線。


國(guó)內(nèi)企業(yè)也在積極研發(fā)和探索碳化硅器件的產(chǎn)業(yè)化,已經(jīng)形成相對(duì)完整的碳化硅產(chǎn)業(yè)鏈體系。


中國(guó)企業(yè)在單晶襯底方面以4英寸為主,目前已經(jīng)開(kāi)發(fā)出了6英寸導(dǎo)電性SiC襯底和高純半絕緣SiC襯底。

以天科合達(dá)和山東天岳為主的SiC晶片廠商發(fā)展速度較快,市占率提升明顯。三安光電在SiC方面也在深度布局。


山東天岳、天科合達(dá)、河北同光、中科節(jié)能均已完成6英寸襯底的研發(fā),中電科裝備研制出6英寸半絕緣襯底。


華潤(rùn)微擁有3條6英寸產(chǎn)線和一條正在建設(shè)的12英寸產(chǎn)線,并擁有國(guó)內(nèi)首條實(shí)現(xiàn)商用量產(chǎn)的6英寸碳化硅晶圓生產(chǎn)線。

露笑科技2020年引進(jìn)碳化硅重磅研發(fā)團(tuán)隊(duì)并聯(lián)合合肥政府共同投資碳化硅。

外延常用PECVD法制造。國(guó)外外延片企業(yè)主要有DowCorning、II-VI、Norstel、CREE、羅姆、三菱電機(jī)、英飛凌等;器件方面相關(guān)主要企業(yè)包括英飛凌、CREE、羅姆、意法半導(dǎo)體等。


國(guó)內(nèi)從事外延片生長(zhǎng)的企業(yè)包括廈門瀚天天成和東莞天域半導(dǎo)體等;從事碳化硅器件設(shè)計(jì)制造的企業(yè)包括泰科天潤(rùn)、華潤(rùn)微、綠能芯創(chuàng)、上海詹芯、基本半導(dǎo)體、中國(guó)中車等。

同時(shí)從事外延生長(zhǎng)和器件制作的企業(yè)包括中電科五十五所、中電科十三所和三安集成等。


外延片方面,中國(guó)瀚天天成、東莞天域半導(dǎo)體、國(guó)民天成均可供應(yīng)4-6英寸外延片。模塊方面有斯達(dá)半導(dǎo)體、比亞迪電子、中車時(shí)代電氣等公司。

下游器件的制造效率越高、單位成本越低。器件領(lǐng)域國(guó)際上600-1700V碳化硅SBD、MOSFET都已量產(chǎn),Cree已開(kāi)始布局8英寸產(chǎn)線,國(guó)內(nèi)企業(yè)碳化硅MOSFET還有待突破,產(chǎn)線在向6英寸過(guò)渡。
碳化硅器件領(lǐng)域代表性的企業(yè)中,目前來(lái)看在國(guó)際上技術(shù)比較領(lǐng)先的是美國(guó)的Cree,其覆蓋了整個(gè)碳化硅產(chǎn)業(yè)鏈的上下游(襯底-外延-器件),具有核心的技術(shù)。


下游碳化硅器件市場(chǎng),美國(guó)Cree占據(jù)最大市場(chǎng)份額,達(dá)26%,其次為羅姆和英飛凌,分別占據(jù)21%和16%的市場(chǎng)份額。


英飛凌已經(jīng)推出了采用轉(zhuǎn)模封裝的1200V碳化硅(SiC)集成功率模塊(IPM),并大規(guī)模推出了SiC解決方案。


國(guó)內(nèi)廠商主要有器件:泰科天潤(rùn)、瀚薪、揚(yáng)杰科技、中電55所、中電13所、科能芯、中車時(shí)代電氣等;模組:嘉興斯達(dá)、河南森源、常州武進(jìn)科華、中車時(shí)代電氣目前碳化硅市場(chǎng)處于起步階段。

碳化硅功率器件產(chǎn)業(yè)鏈公司梳理:


資料來(lái)源:銀河證券

Yole預(yù)計(jì)2025年碳化硅射頻器件全球市場(chǎng)規(guī)??蛇_(dá)250億美元,2023年碳化硅功率器件全球市場(chǎng)規(guī)??蛇_(dá)14億美元。

在未來(lái)的10年內(nèi),碳化硅器件有望大范圍地應(yīng)用于工業(yè)及電動(dòng)汽車領(lǐng)域。


資料來(lái)源:Yole, 中信建投


目前碳化硅(SiC)半導(dǎo)體仍處于發(fā)展初期,晶圓生長(zhǎng)過(guò)程中易出現(xiàn)材料的基面位錯(cuò),以致碳化硅器件可靠性下降。

另一方面,晶圓生長(zhǎng)難度導(dǎo)致碳化硅材料價(jià)格昂貴,預(yù)計(jì)想要大規(guī)模得到應(yīng)用仍需一段時(shí)期的技術(shù)改進(jìn)。


汽車應(yīng)用領(lǐng)域,碳化硅器件替代硅器件是確定的發(fā)展趨勢(shì)。碳化硅功率器件的應(yīng)用領(lǐng)域在持續(xù)的拓展。

新能源汽車產(chǎn)業(yè)作為一個(gè)體量快速增長(zhǎng)、技術(shù)持續(xù)革新的戰(zhàn)略新興產(chǎn)業(yè),將在汽車電動(dòng)化滲透率提升的過(guò)程中為多個(gè)細(xì)分技術(shù)領(lǐng)域提供廣闊的舞臺(tái),國(guó)內(nèi)產(chǎn)業(yè)鏈內(nèi)有望涌現(xiàn)多家技術(shù)領(lǐng)先型的黑馬企業(yè)。



特斯拉Model3是第一個(gè)集成全SiC功率模塊的車企,主要采購(gòu)意法半導(dǎo)體的650V碳化硅功率器件,特斯拉逆變器由24個(gè)1-in-1功率模塊組成,這些模塊組裝在針翅式散熱器上。


比亞迪車規(guī)級(jí)的IGBT已經(jīng)走到5代,碳化硅Mosfet已經(jīng)走到3代,第4代正在開(kāi)發(fā)當(dāng)中,目前在規(guī)劃自建產(chǎn)線。若如期實(shí)現(xiàn),比亞迪將繼續(xù)維持國(guó)內(nèi)三電技術(shù)領(lǐng)先的地位,并且在續(xù)航表現(xiàn)上與其他國(guó)內(nèi)車企拉開(kāi)一大截。


5G基站方面,對(duì)碳化硅襯底也有較大需求。根據(jù)Yole和CREE預(yù)測(cè),受益5G的普及與5G基站的建設(shè),碳化硅基氮化鎵外延功率器件市場(chǎng)規(guī)模將從2018年6.45億美金增長(zhǎng)到2024年的20億美金,年均復(fù)合增速達(dá)20.76%,2027年市場(chǎng)規(guī)模有望達(dá)到35億美金。



與硅元器件相比,GaN具有高臨界磁場(chǎng)、高電子飽和速度與極高的電子遷移率的特點(diǎn),是超高頻器件的極佳選擇,適用于5G通信、微波射頻等領(lǐng)域的應(yīng)用。


具體來(lái)看,氮化鎵產(chǎn)業(yè)鏈與碳化硅產(chǎn)業(yè)鏈環(huán)節(jié)無(wú)較大差別,同樣分為襯底、外延片和器件環(huán)節(jié)。盡管碳化硅被更多地作為襯底材料,但國(guó)內(nèi)仍有從事氮化鎵單晶生長(zhǎng)的企業(yè),主要有蘇州納維、東莞中鎵、上海鎵特和芯元基等;從事氮化鎵外延片的國(guó)內(nèi)廠商主要有三安光電、賽微電子、海陸重工、晶湛半導(dǎo)體、江蘇能華等;從事氮化鎵器件的廠商主要有三安光電、聞泰科技、賽微電子、聚燦光電、乾照光電等。


氮化鎵作為第三代半導(dǎo)體材料,有更高的禁帶寬度,是迄今理論上電光、光電轉(zhuǎn)換效率最高的材料體系,下游應(yīng)用包括微波射頻器件(通信基站等),電力電子器件(電源等),光電器件(LED照明等)。不過(guò),第三代半導(dǎo)體材料中,受技術(shù)與工藝水平限制,氮化鎵材料作為襯底實(shí)現(xiàn)規(guī)?;瘧?yīng)用仍面臨挑戰(zhàn),其應(yīng)用主要是以藍(lán)寶石、硅晶片或碳化硅晶片為襯底,通過(guò)外延生長(zhǎng)氮化鎵以制造氮化鎵器件。


根據(jù)預(yù)測(cè),2020年末,GaN射頻器件市場(chǎng)規(guī)模將達(dá)到7.5億美元,年均復(fù)合增長(zhǎng)率20%。目前氮化鎵器件已應(yīng)用于5G通信基站射頻收發(fā)單元、消費(fèi)類電子快速充電器、電動(dòng)汽車充電機(jī)OBC等領(lǐng)域。


LED領(lǐng)域


其中LED領(lǐng)域占比達(dá)70%。隨著LED芯片技術(shù)和制程持續(xù)更新迭代,LED照明產(chǎn)品的發(fā)光效率、技術(shù)性能、產(chǎn)品品質(zhì)、成本經(jīng)濟(jì)性不斷大幅提升;再加上產(chǎn)業(yè)鏈相關(guān)企業(yè)和投資不斷增多,LED光源制造和配套產(chǎn)業(yè)的生產(chǎn)制造技術(shù)不斷升級(jí),終端產(chǎn)品規(guī)模化生產(chǎn)的成本經(jīng)濟(jì)性進(jìn)一步提高,目前LED照明產(chǎn)品已成為家居照明、戶外照明、工業(yè)照明、商業(yè)照明、景觀亮化、背光顯示等應(yīng)用領(lǐng)域的主流應(yīng)用,LED照明產(chǎn)品替代傳統(tǒng)照明產(chǎn)品的市場(chǎng)滲透率不斷提升,市場(chǎng)需求持續(xù)增長(zhǎng)。


根據(jù)國(guó)家半導(dǎo)體照明工程研發(fā)及產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟(CSA)的統(tǒng)計(jì),中國(guó)LED照明產(chǎn)品國(guó)內(nèi)市場(chǎng)滲透率(LED照明產(chǎn)品國(guó)內(nèi)銷售數(shù)量/照明產(chǎn)品國(guó)內(nèi)總銷售數(shù)量)由2012年的3.3%快速提升至2018年的70%,遠(yuǎn)超全球平均水平。



數(shù)據(jù)來(lái)源:國(guó)家半導(dǎo)體照明工程研發(fā)及產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟(CSA)、中商產(chǎn)業(yè)研究院整理


中國(guó)是LED照明產(chǎn)品最大的生產(chǎn)制造國(guó),隨著國(guó)內(nèi)LED照明市場(chǎng)滲透率快速攀升至七成以上,LED照明已基本成為照明應(yīng)用的剛需,國(guó)內(nèi)的LED照明市場(chǎng)規(guī)模呈現(xiàn)出較全球平均水平更快的增長(zhǎng)勢(shì)頭。根據(jù)高工產(chǎn)研LED研究所(GGII)的統(tǒng)計(jì),中國(guó)LED照明市場(chǎng)產(chǎn)值規(guī)模由2015年的2596億元增長(zhǎng)到2018年的4155億元,年均復(fù)合增長(zhǎng)率達(dá)到16.97%,增速高于全球平均水平。預(yù)計(jì)到2021年,中國(guó)LED照明市場(chǎng)產(chǎn)值有望達(dá)到5900億元,2019-2021年仍有望能保持超過(guò)12%的年均復(fù)合增長(zhǎng)水平。



5G基站領(lǐng)域

目前采用氮化鎵的微波射頻器件主要用于軍事領(lǐng)域、4G/5G 通訊基站等,由于涉及軍事安全,國(guó)外對(duì)高性能氮化鎵器件實(shí)行對(duì)華禁運(yùn)。因此,發(fā)展自主氮化鎵射頻功放產(chǎn)業(yè),有助于打破國(guó)外壟斷,實(shí)現(xiàn)自主可控。2020年8月17日,在“點(diǎn)亮深圳,5G智慧之城”發(fā)布會(huì)上,深圳市市長(zhǎng)陳如桂正式宣布深圳市實(shí)現(xiàn)5G獨(dú)立組網(wǎng)全覆蓋,深圳率先進(jìn)入5G時(shí)代。截至8月14日,深圳已建成46480個(gè)5G基站,截至7月26日,深圳已建成5G基站4.5萬(wàn)個(gè),提前一個(gè)月完成深圳此前8月底前完成4.5個(gè)5G基站建設(shè)的目標(biāo)。目前,深圳5G產(chǎn)業(yè)規(guī)模、5G基站和終端出貨量全球第一。


從全國(guó)各省市最新公布的5G基站建設(shè)計(jì)劃來(lái)看,據(jù)不完全統(tǒng)計(jì),此前已有29個(gè)省市公布了2020年5G基站建設(shè)計(jì)劃。廣東5G大提速,2020年建設(shè)6萬(wàn)座5G基站。從廣東省政府新聞辦舉行第49場(chǎng)疫情防控新聞發(fā)布會(huì),省工業(yè)和信息化廳副廳長(zhǎng)楊鵬飛表示,2020年將全面加速5G網(wǎng)絡(luò)建設(shè),爭(zhēng)取年內(nèi)建設(shè)6萬(wàn)座5G基站,全省5G用戶數(shù)量達(dá)到2000萬(wàn)。預(yù)計(jì)2020年,以5G基站和數(shù)據(jù)中心為代表的新型信息基礎(chǔ)設(shè)施投資會(huì)超過(guò)500億元。以下是全國(guó)各省市2020年5G基站建設(shè)計(jì)劃情況:


數(shù)據(jù)來(lái)源:中商產(chǎn)業(yè)研究院整理


光伏領(lǐng)域


GaN和SiC器件進(jìn)入光伏市場(chǎng),將為小型系統(tǒng)帶來(lái)更大的競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì),主要包括:更低的均化電力成本,提升通過(guò)租賃和電力購(gòu)買協(xié)議而銷售的電能利潤(rùn)。此外,這些器件還能改善性能和可靠性。據(jù)北極星太陽(yáng)能光伏網(wǎng)援引研究機(jī)構(gòu)Lux Research報(bào)告顯示,受太陽(yáng)能模組的下游需求驅(qū)動(dòng),寬禁帶半導(dǎo)體――即碳化硅(SiC)和氮化鎵(GaN)將引領(lǐng)太陽(yáng)能逆變器隔離器市場(chǎng)在2020年達(dá)到14億美元。


近年來(lái),全球光伏新增裝機(jī)容量規(guī)模持續(xù)增加。盡管中國(guó)受“531光伏新政”影響,2018年和2019年國(guó)內(nèi)的光伏新增裝機(jī)容量下滑,但得益于印度、墨西哥等新興光伏市場(chǎng)的快速發(fā)展,以及歐洲市場(chǎng)復(fù)蘇。隨著光伏技術(shù)提升,光伏發(fā)電成本不斷降低,未來(lái)光伏發(fā)電具有廣闊的增長(zhǎng)空間。光伏支架作為光伏電站的關(guān)鍵設(shè)備之一,將隨著全球光伏電站新增裝機(jī)容量的增長(zhǎng)而增長(zhǎng)。2020年1-2季度全國(guó)新增光伏發(fā)電裝機(jī)1152萬(wàn)千瓦。


數(shù)據(jù)來(lái)源:國(guó)家能源局、中商產(chǎn)業(yè)研究院整理



碳化硅器件代工領(lǐng)域,國(guó)內(nèi)企業(yè)有相當(dāng)競(jìng)爭(zhēng)力。中車時(shí)代電氣建有 6 英寸雙極器件、8 英寸IGBT 和 6 英寸碳化硅的產(chǎn)業(yè)化基地,擁有芯片、模塊、組件及應(yīng)用的全套自主技術(shù);華潤(rùn)微具備碳化硅功率器件制備技術(shù)。


泰科天潤(rùn)是國(guó)內(nèi)領(lǐng)先的碳化硅功率器件生產(chǎn)商,其在北京擁有一座完整的半導(dǎo)體工藝晶圓廠,可在 4/6 英寸 SiC 晶圓上實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體功率器件的制造工藝。


目前泰科天潤(rùn)的碳化硅器件 650V/2A-100A,1200V/2A-50A,1700V/5A -50A,3300V/0.6A-50A 等系列的產(chǎn)品已經(jīng)投入批量生產(chǎn),產(chǎn)品質(zhì)量可以比肩國(guó)際同行業(yè)的先進(jìn)水平。在 SiC 外延的研發(fā)和量產(chǎn)方面,我國(guó)也已緊跟世界一流水平,瀚天天成的產(chǎn)品已打入國(guó)際市場(chǎng);我國(guó) SiC IDM 主要有泰科天潤(rùn)、世紀(jì)金光、基本半導(dǎo)體、中電科 15 所、中電科 13所等。


國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體廠商在積極發(fā)揮自身優(yōu)勢(shì),大力布局第三代半導(dǎo)體行業(yè)。第三代半導(dǎo)體對(duì)我國(guó)而言意義非凡,是中國(guó)大陸半導(dǎo)體(尤其是功率和射頻器件)追趕的極佳突破口。


目前,雖然在以SiC和GaN為代表的寬禁帶半導(dǎo)體材料研究和部署方面,美、日、歐仍處于世界領(lǐng)先地位。由于其未來(lái)戰(zhàn)略意義,我國(guó)早已對(duì)寬禁帶半導(dǎo)體材料器件研發(fā)進(jìn)行針對(duì)性規(guī)劃和布局,但是近些年的發(fā)展似乎差強(qiáng)人意,究其根本,主要原因是高制造成本和低技術(shù)成熟度?,F(xiàn)在,隨著國(guó)內(nèi)企業(yè)的技術(shù)不斷發(fā)展和成本的不斷下降,中國(guó)的第三代半導(dǎo)體材料有望最先實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)替代。